如果要求真空度小于0.06Pa，建议选用罗茨泵串联旋片真空泵的机组，一般最高可达到0.05Pa，如果还不能满足要求，可在罗茨泵上方再串联油扩散泵，极限真空度可达0.0001Pa，但其价格较高，建议选用罗茨旋片真空机组，目前国内做的最小的罗茨旋片机组为ZJ15罗茨真空泵（15L/s)＋“2X－4”旋片式真空泵。此类真空机组可考虑到上海一带购买。